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渦輪分子泵的抽氣原理是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵輸送氣體應滿足二個必要條件：1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態下工作。2). 分子泵的轉子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。
由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更******。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流；(2)使用方便；(3)氣體輸送能力強；(4)適于超高真空應用；(5)高壓力下性能良好；6)循環的時間短；(7)正常使用時間長
當然，任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。它的缺點：(1) 設備費用高；(2) 對顆粒物或沉積物敏感；(3) 噪音與振動；(4) 破碎問題；(5) 暴露大氣易引起事故

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