各位大佬誰清楚,Edwards進口分子泵的維修方法有哪些?
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  • Edwards進口分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應如何解決? 原因:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。 解決方式:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。

  • 真空度很好的情況下,Edwards進口分子泵油為何會返到前級管道? 原因:油池裂開或密封不良 解決方法:檢查油池

  • Edwards進口分子泵在運轉過程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問該現象如何解釋? 原因:負載太大,系統真空度不夠 解決方法:檢查系統

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