維修Edwards真空分子泵維修要注意什么?大俠們,求解
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  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關(guān)是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。

  • 當出現(xiàn)警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前,請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。

  • Edwards真空分子泵維修每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

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