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真空值是近紅外光譜儀一個重要的參數，如果真空值下降過快就證明儀器出現了故障。操作人員可以通過看真空值曲線是否平緩，不平緩的話，就是漏氣的地方。可以通過檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈來解決故障。
近紅外光譜儀不能正常工作時，可先啟動儀器自診斷功能，檢查儀器某些器件工作狀況，或者根據儀器的異常現象，參照儀器使用說明書進行排查。
近紅外光譜儀的光強值下降下降的話，將會對設備造成非常大的影響。我們要盡快找出原因，然后進行排查。導致這個現象的原因是透鏡臟、入射狹縫污染光纖老化。可以擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖來進行解決。

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