當Edwards進口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
打開Edwards進口分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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