制冷式光譜儀可以測量物體的薄膜厚度，可以測量的膜層厚度10nm-50μm，分辨率為1nm。除此之外還會被應用在金屬和玻璃材料基底上光學膜層厚度的測量。
制冷式光譜儀通常使用光纖作為信號耦合裝置，將測量到的光耦合到光譜儀進行光譜分析。由于光纖的方便，用戶可以非常靈活地構建光譜采集系統。
制冷式光譜儀基本配置包括一個光柵，一個狹縫，和一個探測器。這些部件的參數在選購光譜儀時必須詳細說明。光譜儀的性能取決于這些部件的組合與校準，校準后光纖光譜儀，原則上這些配件都不能有任何的變動。
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