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如果高分辨率光譜儀故障原因不是硬件問題，可通過調整、重新設置光譜儀參數等技術操作解決的，可自行處理。
新高分辨率光譜儀電腦出現死機，程序錯誤、黑屏、分析軟件的START狀態不對有時變為黃色不動，有時雖然動但是變為紅色，處理辦法：此為通訊線接觸不良，重新連接即可。
真空值是高分辨率光譜儀一個重要的參數，如果真空值下降過快就證明儀器出現了故障。操作人員可以通過看真空值曲線是否平緩，不平緩的話，就是漏氣的地方。可以通過檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈來解決故障。

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