普發真空渦輪分子泵的工作原理是基于分子撞擊的。當氣體進入渦輪時,葉輪的高速旋轉會將氣體分子拋出并加速,使其撞擊到渦輪的壁面上。由于撞擊能量足夠大,氣體分子會被擊出渦輪并進入下一級泵,zui終達到真空狀態。
普發真空渦輪分子泵是一種高真空獲得設備(真空度可高達10-8Pa),具有真空度高、抽速大、無油潔凈等優點。
普發真空渦輪分子泵廣泛應用于鍍膜、電子、半導體、太陽能、真空爐、化工、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關行業和教學、科研單位。
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