渦輪分子泵的工作原理基于分子流動。轉子高速旋轉時,氣體分子被轉子葉片捕獲并帶到泵的排氣側,通過連續的分子流動將氣體分子從真空室中抽出。由于分子流動的速度遠遠高于常規氣體流動,渦輪分子泵可以實現高抽氣速度,從而快速降低真空室內的氣體密度和壓力。
定期檢查渦輪分子泵有助于提早發現問題并采取適當的維護措施,以防止更嚴重的故障發生。
定期維護和保養:按照制造商的建議進行定期維護和保養,如更換磨損的部件、潤滑軸承、清潔內部等。定期維護可以延長渦輪分子泵的使用壽命和性能。
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