渦輪分子泵的工作原理是什么?
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  • 渦輪分子泵的工作原理基于分子流動。轉子高速旋轉時,氣體分子被轉子葉片捕獲并帶到泵的排氣側,通過連續的分子流動將氣體分子從真空室中抽出。由于分子流動的速度遠遠高于常規氣體流動,渦輪分子泵可以實現高抽氣速度,從而快速降低真空室內的氣體密度和壓力。

  • 渦輪分子泵是一種高真空獲得設備(真空度可高達10-8Pa),具有真空度高、抽速大、無油潔凈等優點。

  • 廣泛應用于鍍膜、電子、半導體、太陽能、真空爐、化工、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關行業和教學、科研單位。

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