維修Edwards進(jìn)口分子泵時(shí)需要注意什么? 知道的請(qǐng)回答
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  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動(dòng)時(shí),檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí),必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。

  • Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵出現(xiàn)故障無法使用時(shí),應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。

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