愛德華分子泵維修維修需要注意什么呢?求解答
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  • 當愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 打開愛德華分子泵維修之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。

  • 愛德華分子泵維修不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵

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