檢查真空表是不是出現了問題，Edwards真空分子泵維修出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前，請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
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