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制冷式光譜儀可以測量物體的薄膜厚度，可以測量的膜層厚度10nm-50μm，分辨率為1nm。除此之外還會被應用在金屬和玻璃材料基底上光學膜層厚度的測量。
制冷式光譜儀的應用領域非常廣泛，如農業、天文、汽車、生物、化學、鍍膜、色度計量、環境檢測、薄膜工業、食品、寶石檢測、LED檢測、印刷、造紙、喇曼光譜、半導體工業等。
制冷式光譜儀的優點在于測量系統的模塊化和靈活性。光纖光譜儀的測量速度非常快，可用于在線分析。此外，由于使用了低成本的通用探測器，降低了光譜儀的成本，降低了整個測量系統的成本。

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