Edwards二手分子泵維修有什么注意事項(xiàng)? 知道的請(qǐng)回答
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

  • Edwards二手分子泵每次停機(jī)后,必須清洗每個(gè)分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí),檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards二手分子泵之前,請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí),嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。

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