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若發現是熒光光譜儀硬件損壞，應請維修工程師來現場處理，若無法查出故障原因，也應及早與維修工程師溝通，及時傳遞儀器的故障信息，以便工程師來現場維修之前能大概判定故障原因并準備好所需的備品備件。
熒光光譜儀的光強值下降下降的話，將會對設備造成非常大的影響。我們要盡快找出原因，然后進行排查。導致這個現象的原因是透鏡臟、入射狹縫污染光纖老化。可以擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖來進行解決。
熒光光譜儀不能正常工作時，可先啟動儀器自診斷功能，檢查儀器某些器件工作狀況，或者根據儀器的異常現象，參照儀器使用說明書進行排查。

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