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光纖光譜儀排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，過濾器入口端有異物。如果設備的內部有異物，將會引起排氣不暢。要定期更換排氣管，要更換透明的塑料管，定期對排氣管路進行吹掃。
若發現是光纖光譜儀硬件損壞，應請維修工程師來現場處理，若無法查出故障原因，也應及早與維修工程師溝通，及時傳遞儀器的故障信息，以便工程師來現場維修之前能大概判定故障原因并準備好所需的備品備件。
死機程序錯誤一般剛開始使用的光纖光譜儀如果出現這類問題的話，極有可能是通訊線接觸不良。新儀器電腦出現死機，程序錯誤、黑屏、分析軟件的START狀態不對，都有可能是通訊線接觸不良造成的解決的方法也很簡單，只需要將此為通訊線接觸不良，重新連接即可。

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