大神賜教!維修Edwards真空分子泵維修要注意什么?
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問(wèn)題,Edwards真空分子泵維修出口是否打開(kāi),機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來(lái)判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。

  • 打開(kāi)Edwards真空分子泵維修之前,必須先打開(kāi)冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

  • Edwards真空分子泵維修不能在大氣中打開(kāi),必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

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