求幫助!維修Edwards二手分子泵要注意哪些細(xì)節(jié)?
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  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

  • Edwards二手分子泵每次停機(jī)后,必須清洗每個(gè)分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

  • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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