當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時，應暫停生產，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
Edwards進口分子泵每次停機后，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。
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