各位大佬誰清楚,維修Edwards進口分子泵要注意什么?
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,Edwards進口分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。

  • 當Edwards進口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 當出現(xiàn)警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。

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