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新高分辨率光譜儀電腦出現死機，程序錯誤、黑屏、分析軟件的START狀態不對有時變為黃色不動，有時雖然動但是變為紅色，處理辦法：此為通訊線接觸不良，重新連接即可。
真空值是高分辨率光譜儀一個重要的參數，如果真空值下降過快就證明儀器出現了故障。操作人員可以通過看真空值曲線是否平緩，不平緩的話，就是漏氣的地方。可以通過檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈來解決故障。
死機程序錯誤一般剛開始使用的高分辨率光譜儀如果出現這類問題的話，極有可能是通訊線接觸不良。新儀器電腦出現死機，程序錯誤、黑屏、分析軟件的START狀態不對，都有可能是通訊線接觸不良造成的解決的方法也很簡單，只需要將此為通訊線接觸不良，重新連接即可。

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