有誰知道:Edwards真空分子泵的維修方法有哪些?
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  • Edwards真空分子泵的變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂? ①電壓不穩②強干擾③高壓打火

  • Edwards真空分子泵有防護網保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內? 原因:防護網裂開,前級管道裂開 解決方法:優化系統設計

  • Edwards真空分子泵軸承為什么會燒毀 原因:①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵 解決方法:①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵

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