軸流分子泵維修注意事項

軸流分子泵維修注意事項 軸流分子泵是真空系統設備，維修需遵循嚴格規范以確保性能與安全性。以下為維修關鍵注意事項： 1. 安全操作前置條件 - 維修前必須斷電并泄壓，避免殘余氣體或高速旋轉部件引發事故。 - 佩戴防靜電手環及無塵手套，防止靜穿精密部件或污染內部腔體。 - 使用工具拆卸，禁止強行撬動泵體，避免葉輪變形或軸承損傷。 2. 拆裝流程規范 - 按說明書順序拆卸轉子組件，記錄每級葉輪與定子的相對位置，防止重裝錯位。 - 檢查高速電機軸承預緊力，拆卸時使用拉拔器避免敲擊導致軸承受損。 - 密封圈及O型圈需一次性更換，禁止重復使用已壓縮老化的密封件。 3. 清潔與檢查要點 - 使用無塵室環境（至少千級潔凈度）清潔葉輪表面顆粒物，采用超聲波清洗+高純氮氣吹掃。 - 重點檢查轉子葉片邊緣是否缺損，定子流道有無劃痕（超過5μm需拋光處理）。 - 磁懸浮軸承需檢測線圈阻抗與間隙傳感器數據，排除電磁干擾風險。 4. 性能驗證與調試 - 組裝后需低速空載運行2小時，監測振動值（應＜1.5mm/s）與異響。 - 使用氦質譜檢漏儀檢測密封面，泄漏率需＜1×10?? Pa·m3/s。 - 終真空度測試應達到額定指標的90%以上，否則需重新校準動平衡。 5. 維護周期管理 - 每2000小時更換潤滑脂（全氟聚醚型），避免油脂碳化導致軸承卡滯。 - 建立維修檔案，記錄轉子動平衡參數、軸承磨損量等關鍵數據。 特殊提示：涉及分子泵渦輪葉片維修需返廠處理，自行焊接可能破壞動平衡精度。維修后需進行72小時持續抽氣測試，確保長期運行穩定性。