pfeiffer真空泵保養拆解
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  • Pfeiffer真空泵保養拆解操作指南一、準備工作1. 安全措施:斷電并泄壓,確保泵體溫度降至室溫,佩戴防護手套及護目鏡2. 工具準備:扳手、內六角套筒、無塵布、真空油脂、密封膠、超聲波清洗機二、拆解流程1. 外部組件拆卸:- 拆除進氣口/排氣口法蘭- 卸下電機聯軸器防護罩- 斷開冷卻水管路(水冷機型)- 分離電機與泵體連接螺栓2. 組件分解:① 轉子系統:- 使用拉拔器拆卸葉輪組件- 按順序分解各級轉子與定子模塊- 標記齒輪箱各齒輪嚙合相位② 密封系統:- 取出機械密封組件(干式泵)- 檢查油封完整性(油潤滑泵)- 清理密封腔體殘留物3. 輔助系統處理:- 拆卸真空計接口- 檢查過濾器堵塞情況- 清理油霧分離器(如有)三、清潔與檢查1. 使用溶劑超聲清洗金屬部件(20kHz/30min)2. 檢查轉子動平衡(允許偏差≤0.5g·mm)3. 測量軸向間隙(標準值0.03-0.05mm)4. 檢測軸承游隙(應<0.01mm)四、組裝規范1. 按反向順序裝配,確保各部件定位銷對齊2. 密封面涂抹真空脂(APIE GL-5級)3. 分階段預緊螺栓(扭矩值參照手冊±5%)4. 聯軸器校準(同軸度≤0.02mm)五、注意事項1. 禁止使用清洗陶瓷部件2. 油潤滑泵需更換ISO VG 100真空油3. 復合分子泵需保持渦輪葉片原裝配向4. 重組后需進行24小時磨合運行(30%負載)維護周期建議:連續運行2000小時或真空度下降15%時進行保養。特殊工況應縮短至1000小時維護。建議保留拆解過程影像記錄以備查驗。涉及磁懸浮軸承等精密部件時,建議返廠維護。

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