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掃描電子顯微鏡類型多樣,不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據電子種類可分為三種:場發射電子、鎢絲和六硼化鑭  。其中,場發射掃描電子顯微鏡根據光源性能可分為冷場發射掃描電子顯微鏡和熱場發射掃描電子顯微鏡。冷場發射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高,束流不穩定,發射體使用壽命短,需要定時對針尖進行清洗,僅局限于單一的圖像觀察,應用范圍有限;而熱場發射掃描電子顯微鏡不僅連續工作時間長,還能與多種附件搭配實現綜合分析。在地質領域中,我們不僅需要對樣品進行初步形貌觀察,還需要結合分析儀對樣品的其它性質進行分析,所以熱場發射掃描電子顯微鏡的應用更為廣泛。

衍射圖樣的動態范圍通常非常大。對于晶體樣品,這個動態范圍通常超出了CCD所能記錄的大范圍。因此TEM通常裝備有膠卷暗盒以記錄這些圖像。對衍射圖樣點對點的分析非常復雜,這是由于圖像與樣品的厚度和方向、物鏡的失焦、球面像差和色差等等因素都有非常密切的關系。盡管可以對格點圖像對比度進行定量的解釋,然而分析本質上非常復雜,需要大量的計算機來計算。衍射平面還有更加復雜的表現,例如晶體格點的多次衍射造成的菊池線。在會聚電子束衍射技術中,會聚電子束在樣品表面形成一個極細的探針,植物半薄切片技術服務,從而產生了不平行的會聚波前,而匯聚電子束與樣品的作用可以提供樣品結構以外的信息,例如樣品的厚度等等。

盛放樣品的銅網根據需要可以是多種多樣的,直徑一般均為3mm ,通常銅網上有多少個柵格,我們就把它稱作多少目。之所以選擇銅制作樣品網,是由于它不會與電子束及電磁場發生作用,同理還可以選擇其他導磁率低的金屬材料(如鎳)制作樣品網,樣品網屬于易耗品,銅網加工容易、成本低,故使用十分普及。

透射電鏡常見的樣品臺有2種:

①頂入式樣品臺,要求樣品室空間大,一次可放入多個(常見為6個)樣品網,樣品網盛載杯呈環狀排列。使用時可以依靠機械手裝置進行依次交換。優點是每觀察完多個樣品后,才在更換樣品時破壞一次樣品室的真空,比較方便、省時間;但所需空間太大,致使樣品距下面物鏡的距離較遠,不適于縮短物鏡焦距,會影響電鏡分辨力的提高。

②側插式樣品臺,樣品臺制成桿狀,樣品網載放在前端,只能盛放1~2個銅網。樣品臺的體積小,所占空間也小,可以設置在物鏡內部的上半端,有利于電鏡分辨率的提高。缺點是一次不能同時放入多個樣品網,每次更換樣品必須破壞一次樣品室的真空,略嫌不便。

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