像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框,電鏡技術服務,束斑可以看成是一個衍射波,中間呈類似高斯分布,只要半高寬和像素大致相等則視為匹配。而此時束斑的大小是大于像素的。
而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運動,只要不同像素點覆蓋區域的電子產額能夠被探測器有效處理和區分,那電鏡圖片也就能區分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細節的,而有點地方說掃描電鏡不能區分比束斑更小的說法是不夠嚴密的。束斑是單點像素1.3~2倍左右,都是匹配的條件。
所以反映在電鏡圖像上,改變焦距的時候會出現兩個嚴重的拉伸,拉伸方向可能因樣品而不同,但是這兩個拉伸方向一定正交。所以此時將焦距調節至兩個拉伸明顯狀態的中間位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,進行消像散線圈的調節,先調X或Y中的一個維度,待圖像達到清楚后再調節另一個維度。
有關拉伸方向的判斷并不困難,試樣中的各種特征點都可以作為判斷依據,比如孔洞或者顆粒,或者樣品邊緣,都可以輕易的進行判斷。尤其在像散比較大時,不要焦距和像散的兩個維度亂調一氣,以免像散過大而完全無從判斷。
電子顯微鏡是使用電子來展示物件的內部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長比可見光的波長短(波粒二象性),而顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制,因此電子顯微鏡的理論分辨率(約0.1納米)遠高于光學顯微鏡的分辨率(約200納米)。
透射電子顯微鏡(Transmission electron microscope,縮寫TEM),簡稱透射電鏡 ,是把經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關,因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來。
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