普發真空分子泵1200-普發真空分子泵-廣州潽拓光電公司

  我司從事機電自動化，光電存儲媒體，半導體，醫liao，太陽能電池板，玻璃鍍膜，科學研究所等真空鍍膜設備維修，銷售，設計，開發及系統工程，軟件開發，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，Shimadzu等分子泵，真空泵，真空計維修保養/銷售等業務。

   這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。 我公司從事高真空設備研制、生產、銷售、工程安裝及售后維修服務于一體的綜合性企業，由從事多年真空系統開發，普發真空分子泵保養，真空設備技術研發，維修工程師，工程師組成的一支技術實力，充滿活力的高素質團隊。伴著嚴謹的內部項目實施管理，控制制流程，確保每一項真空設備的工藝技術性和質量的優佳性、可靠性。

渦輪分子泵的優點：

 (1)清潔，無油蒸汽返流 渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由于現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，普發真空分子泵80，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵

 (2)使用方便 在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降到極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內工作）

我司從事機電自動化，光電存儲媒體，半導體，醫liao，太陽能電池板，玻璃鍍膜，科學研究所等真空鍍膜設備維修，銷售，設計，開發及系統工程，軟件開發，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，普發真空分子泵，Shimadzu等分子泵，普發真空分子泵1200，真空泵，真空計維修保養/銷售等業務。

廣州潽拓——維修PFEIFFER DUO 3

雙級旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋轉式排量泵。泵系統包括一個殼 體 (1)、一個偏心地

安裝的轉子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動的葉片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口閥（如配置）被設計為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀 態。

工作室 (5) 位于殼體內，并受到定子、轉子和葉片的限 制。偏心安裝的轉子和葉

片將工作室分為具有可變容積的兩 個獨立艙。當轉子轉動時，氣體流入擴大的吸入

室直至其被 第二個葉片封住。封閉氣體然后進行壓縮，直到出口閥沖破 大氣壓力

而開啟。出口閥是油封的。當閥打開時，少量的油進入吸入室，不僅能夠對其進行

潤 滑，而且能夠將葉片與殼體（定子）密封開來。

旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮操作的情況下，一個孔向外側打開，讓氣體流入前側 的密封吸入室。因此，

在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始

冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮達到的終壓力 高于無

氣鎮操作所達到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個任務要 執行。它潤滑所有移動

部件，填充出口閥下的固定空間以及 縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工

作室之間的間 隙，此外還通過熱傳遞確保溫度平衡。

多級泵

旋片式真空泵是內置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實現 相對更低的極限壓力。

此外，氣鎮對極限壓力的影響較低， 因為氣鎮僅允許在高壓力級使用。

真空安全閥

根據所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。 真空安全閥在有意或意

外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統進行排氣，防止油液

上升到真空室 中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓 力，它

稍作延遲就打開。

潽拓光電——普發真空分子泵}普發分子泵     

普發Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵常見故障：

抽速慢

卡死

電流偏大

噪音大

達不到全速運轉

 廣州潽拓光電德國普發Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵維修

      普發Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵維修照片：

      Pfeiffer Splitflow 310-3P德國普發分子泵是用在氦質譜檢漏儀設備上，Pfeiffer Splitflow 310-3P抽速可達到250 L/s，轉速為60000rpm，德國普發Splitflow 310-3P分子泵對應的控制器為： Pfeiffer TC400。

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