金剛石的成核機理
在研究金剛石的成核機理等基礎理論方面是較為完善的一種。盡管合成速度較慢約為1~2um/h,但沉積的金剛石薄膜質(zhì)量高,與基體結合好。
近發(fā)展的等離子體輔助熱絲CVD法(EACVD),不僅獲得遠比一般熱絲CVD法更高的沉積速度(10—20um/h),而且金剛石膜的質(zhì)量得到顯著提高。
先將真空室抽成真空,再將熱絲加熱到1800℃~2400℃的高溫,通往含碳氣源和H2,氣體通過熱絲時被分解成原子H,電鍍金剛石磨邊輪價格,CH3,C2H2等基團,這些活性基團在800℃~1100℃的基體上反應形成金剛石晶核,再生長成金剛石膜。其中絲的材質(zhì)、溫度、絲與基體間的距離、氣體種類比例、基體溫度等對金剛石形核和生長都影響。
金剛石鋸片的選擇參數(shù)標準:
金剛石粒度的選擇:當金剛石粒度粗且為單一粒度時,鋸片刀頭鋒利,鋸切,但金剛石結塊的抗彎強度下降;當金剛石粒度細或粗細粒度混合時,鋸片刀頭耐用度高,但效率較低。綜合考慮以上因素,選擇金剛石粒度為50/60目較為適宜。
油石、磨石:油石是用磨料和結合劑等制成的條狀固結磨具。油石在使用時通常要加油潤滑,故名。油石一般用于手工修磨刀具和零件,也可裝夾在機床上進行珩磨和超精加工。油石有人造的和天然的兩類,形狀很多。本文并沒有再對油石進行分類,同樣使用屬性來區(qū)分。
影響金剛石成核生長的兩方面
磨料磨具中從影響金剛石成核生長的熱力學和動力學方面考慮,主要有:襯底(基片)材料、襯底(基片)的預處理、襯底(基片)的爐內(nèi)處理、沉積氣源(氣體中碳的濃度)、襯底(基片)溫度、氣體壓強以及氫原子在沉積中的作用。
在這些因素中,對成膜的質(zhì)量,沉積速率都有影響,但是由于沉膜過程的復雜,各種不同的制備方法與工藝參數(shù)又互相關聯(lián),彼此之間又有差異,各工藝參數(shù)對學和金剛石膜的質(zhì)量和沉積速率的影響都還沒有特定的規(guī)律和精辟的解釋。
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