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花藥掃描電鏡技術服務-武漢科銳諾生物(圖)

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陽極 為一中心有孔的金屬圓筒,處在陰極下方,當陽極上加有 數十千伏或上百千伏的正高壓??加速電壓時,將對陰極受熱發射出來的自由電子產生強烈的引力作用,并使之從雜亂無章的狀態變為有序的定向運動, 同時把自由電子加速到一定的運動速度(與加速電壓有關,前面已經討論過), 形成一股束流射向陽極靶面。凡在軸心運動的電子束流,將穿過陽極中心的圓孔射出電子外,成為照射樣品的光源。

還有一種新型的電子場發射式電子qiang,由1個陰極和2個陽極構成,陽極上施加一稍低(相對第2陽極)的吸附電壓,用以將陰極上面的自由電子吸引出來,而第2陽極上面的極高電壓,將自由電子加速到很高的速度發射出電子束流。這需要超高電壓和超高真空為工作條件,它工作時要求真空度達到10-7Pa,熱損耗,使用壽命可達2000 h;電子束斑的光點更為尖細,直徑可達到10nm以下,較鎢絲陰極(大于10nm)縮小了3個數量級;由于發光,它發出光斑的亮度能達到10 A/cm·s,較鎢絲陰極(106 A/cm·s )也提高了3個數量級。場發射式電子因技術、造價昂貴,花藥掃描電鏡技術服務,只應用于高分辨電鏡當中。

由電子發射的電子束可達30keV,經會聚透鏡、物鏡縮小和聚焦,在樣品表面形成一個具有一定能量、強度、斑點直徑的電子束。在掃描線圈的磁場作用下,入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時間順序做光柵式逐點掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用,將從樣品中激發出二次電子。由于二次電子收集極的作用,可將各個方向發射的二級電子匯集起來,再將加速極加速射到閃爍體上,轉變成光信號,經過光導管到達光電倍增管,使光信號再轉變成電信號。這個電信號又經視頻放大器放大并將其輸送至顯像管的柵極,調制顯像管的亮度。因而,再熒光屏上呈現一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。

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