流量控制器在高壓條件下如何使用?
質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓,流量表報價, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。
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流量控制器的原理是什么?
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門,流量表哪家好,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
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提高氣體質量流量控制器實用準確度的措施為:
1.針對氣體質量流量控制器的實際工藝參數,對該流量計進行“個性化標準”,流量表多少錢,從而實現在實際使用流量點的一定范圍內,該氣體質量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。
2.把好氣體質量流量控制器的安裝環節,減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。
3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質量流量控制器測量準確度的影響。
4.把好氣體質量流量控制器的投用關。
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