陶瓷靶材
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什么是靶材綁定?靶材綁定的適用范圍、流程?
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。
1.壓接:采用壓條,玫瑰金靶材誰家好,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;
2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;我司采用銦焊綁定技術。
3.導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。
超純金屬的檢測方法極為困難。痕量元素的化學分析系指一克樣品中含有微克級(10克/克)、毫微克級(10克/克)、微微克級(10克/克)雜質的確定。常用的手段有中子和帶電粒子活化分析,原子吸收光譜分析,熒光分光光度分析,質譜分析,化學光譜分析及氣體分析等。在單晶體高純材料中,晶體缺陷對材料性能起顯著影響,稱為物理雜質,主要依靠在晶體生長過程中控制單晶平穩均勻的生長來減少晶體缺陷。
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