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(1)泵總體結構型式真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。
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雙螺和多螺下面以三螺桿為例。它主要是由固定在泵體中的襯套(泵缸)以及安插在泵缸中的主動螺桿和與其嚙合的兩根從動螺桿所組成。三根互相嚙合的螺桿,在泵缸內按每個導程形成為一個密封腔,EGE液位控制器,造成吸排口之間的密封。
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根據對市場需求的調研,我們對控制器設定的主要設計參數和預期目標為:(l)泵的單個住復行程的排量為100ml:(2)輸出脈沖當量為Imm3/脈沖內可調;(3)額定壓力為6.3MaP,小控制壓力為0.IMaP:(4)壓力精度小于1%;(5)0一IMaP調整時間小于100ms(6)容積效率大于97%。泵體設計
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