擴散泵:以低壓高速蒸汽流(油或等蒸汽)作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為:① 自凈化擴散泵:泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
擴散噴射泵:它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下,輸送到出口的一種動量傳輸泵。氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵
真空泵組閥片可以有效地減少多余功耗的投入,增加和效率下降閥片,經常是下部緊貼在真空泵機組端面圓盤上,上部擺開一個角度,被扭曲成“S”形,經過長時間的使用會出現設備老化的情況。此時設備的工作狀態出現問題,閥片中間應力過于集中,加快了其他部件的疲勞和破壞程度,減少了設備使用壽命,導致閥片從中間部分出現斷裂情況,影響正常使用。
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