流量控制器
怎樣選擇流量顯示單位?
我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據用戶的要求設定。按百分比顯示的方式,即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示,例如,規格為50SCCM的MFM/MFC,當顯示值為80%時,實際的流量為40SCCM。對任何一種規格的MFM/MFC,滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直觀,有的用戶不習慣。
按 SCCM或 SLM顯示,出廠時對流量顯示的范圍與相應的MFM/MFC的量程進行匹配,使用時顯示值即是流量值,很直觀,符合習慣,轉子流量計廠家,為多數用戶所采用。 匹配好后,原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是顯示值需要修正。
流量控制器的原理是什么?
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,轉子流量計報價, 再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
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物理時間常數
物理時間常數用希臘字母Tau來表示,是現今為數不多的用來描述響應時間的標準之一,即:控制器到達設定值某個百分比所需要的時間,被定義為1-1/e, 其中e是作為自然對數底數的無理數,重慶轉子流量計,其值為2.72,所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準,可能說明不了什么問題,因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到:ALICAT?質量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。
任意設定值百分比變化區域
不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區間內的變化來定義設備響應速度,比如:從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于和后的 10%控制響應曲線變化,由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示,轉子流量計哪家好,ALICAT?質量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值, 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言,如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話,那么結論是6~7毫秒。
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