干泵;國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
真空泵機械安裝⑴真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養。⑵真空泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運轉平穩,振動小。⑶真空泵與系統的連接管道應密封可靠,對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應清除管道中焊渣,嚴禁焊渣進入真空泵腔。)
真空的定義真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態真空度處于真空狀態下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。真空度單位通常用托(Torr)為單位,國際上取用帕(Pa)作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米柱托與帕的轉換1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托平均自由程作無規則熱運動的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號“λ”表示。
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