氦質譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進行檢測,對被檢件泄漏點進行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內置的真空系統,將被檢氣體抽入到儀器內部,然后將該混合氣體離化,并將離子加速送入磁場當中,利用帶電離子在磁場中的偏轉效應,使氦離子與其它離子分離,通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示,從而反映出被測器件的密封性。
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發生響應,對于如此龐大的真空系統,汽車空調檢漏,其反應是相當的靈敏。用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口,性能。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。質譜室里的燈絲發射出來的電子,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進入磁場,由于洛倫茲力作用產生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
測試時,將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位,通過觀察檢漏儀上的漏率顯示來確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統比較龐雜,影響真空的因素多,對此我們在試驗前,應先根據真空嚴密性的試驗情況、相關系統及設備的運行情況、機組的檢修情況等進行了解分析,初步判斷真空泄漏可能發生的設備或系統管道的位置。然后,在試驗過程中先對重點懷疑泄漏部位進行檢查,再對其他部位按照分系統、分段、逐個設備部件進行排查。
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