潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。潔凈管道:將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,烘焙凈化車間,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為更適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。并裝局部無塵室:將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
如何選擇十萬級無塵車間工程裝修材料。室內裝修材料:以下是十萬級無塵車間工程施工室內材料的選擇。1、十萬級無塵車間使用木材的含水率不應大于16%,并且不得外露。由于無塵車間換氣次數大,相對濕度低,烘焙凈化車間安裝,如大量使用木材,易干裂、變形、松動、產生灰塵等,即使用也要局部使用,并且一定要做好防腐防潮處理。2、一般十萬級無塵車間需用石膏板時須用防水石膏板,而對于生物無塵車間由于經常用水擦洗和用消毒液沖洗,即使防水石膏板也要受潮變形,不耐沖洗,所以規定生物無塵車間不應采用石膏板作罩面材料。3、不同無塵車間在選擇室內裝修材料時還需考慮不同的個性需求。
關于實驗室無塵車間的分類:層流式——層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100之過濾器進入室內,烘焙凈化車間裝修,并由高架地板或兩側隔墻板回風,烘焙凈化車間設計,此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風的,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。復合式——復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
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