流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,流量計多少錢,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器,流量計, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
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氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,流量計哪里有,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
質(zhì)量流量控制器主要參數(shù)
質(zhì)量流量精度: ±0.002×流量±零點漂移
密度測量精度: ±0.003g/cm3
密度測量范圍: 0.5~1.5g/cm3
溫度測量范圍: ±1°C
傳感器相關(guān)數(shù)據(jù):
環(huán)境溫度: -40~60°C
介質(zhì)溫度: -50~200°C
防爆類型: iBⅡBT3
關(guān)聯(lián)設(shè)備: 配套變送器
(3) 變送器相關(guān)數(shù)據(jù):
工作溫度: 0~60°C
相對濕度: 95%以下
電 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
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