盛放樣品的銅網根據需要可以是多種多樣的,直徑一般均為3mm ,通常銅網上有多少個柵格,我們就把它稱作多少目。之所以選擇銅制作樣品網,是由于它不會與電子束及電磁場發生作用,同理還可以選擇其他導磁率低的金屬材料(如鎳)制作樣品網,樣品網屬于易耗品,銅網加工容易、成本低,故使用十分普及。
透射電鏡常見的樣品臺有2種:
①頂入式樣品臺,要求樣品室空間大,一次可放入多個(常見為6個)樣品網,樣品網盛載杯呈環狀排列。使用時可以依靠機械手裝置進行依次交換。優點是每觀察完多個樣品后,才在更換樣品時破壞一次樣品室的真空,比較方便、省時間;但所需空間太大,致使樣品距下面物鏡的距離較遠,不適于縮短物鏡焦距,會影響電鏡分辨力的提高。
②側插式樣品臺,樣品臺制成桿狀,樣品網載放在前端,只能盛放1~2個銅網。樣品臺的體積小,所占空間也小,可以設置在物鏡內部的上半端,有利于電鏡分辨率的提高。缺點是一次不能同時放入多個樣品網,每次更換樣品必須破壞一次樣品室的真空,略嫌不便。
為什么會出現這樣奇怪的現象?為什么更好的分辨率卻沒有得到更真實的圖像?前面我們已經說到,電子束是由掃描線圈的脈沖信號控制,電子束在試樣表面并不是連續掃描,而是逐點跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大,我們會誤以為是連續掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡,那么電子束就有一定的覆蓋面積。
束斑中心的距離取決于放大倍數和采集像素大小。當束斑較大時,束斑覆蓋比較;但是當束斑減小時,束斑的覆蓋區域也越來越小,所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到,所以相應的形貌特征也不會反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來。
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