各種氣體配管配件要求
在半導體體行業線寬越做越小,其對氣體純度、顆粒度、雜質含量、露i點的要求也越來越高。
高純氮氣(PN2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。
氮氣(N2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。
高純氫氣(PH2)氫氣(H2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,氣體管道,閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。(Ar):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。
氦氣(He):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。
特氣系統:必要的還需做雙套管:外管酸洗鈍化(AP)處理,內管電解拋光(EP),閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。
對于特殊氣體來講,氣體品種多,有毒有害氣體多,原來是一機臺配一氣柜,高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本,且有的還布置在工藝間內,存在著泄漏的安全隱患。現在廣泛采用集中供氣系統,氣柜集中,自控系統不斷完善,其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟,氣體管道溫差,特氣間也與工藝間隔離,并對房間有防爆要求,工作的安全性大大提高。
氣體管道工程泄漏檢查的方法有哪些?
氣體管道(gas pipeline)包括控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設在氣體入口室。
Ai級試漏
對氣路嚴重泄漏的粗略觀察。通常在氣源打開并穩定之后,不應聽到氣路流經的各管路及閥件接頭處有絲絲的跑氣聲,如聽到明顯的漏氣聲,說明系統有大漏!必須依據漏氣聲,追查出泄漏處,并加以排除。引起系統大漏的常見原因是:氣路接頭沒上緊,氣路中管路開裂及沒加合適的墊片等。查找氣路的嚴重泄漏,也可在流 路的流量開到頂值時,用肥皂水在各接頭逐步測試有無氣泡出現而加以證實。
B級試漏
對氣路中輕微漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口,觀察氣路中流量計內的轉子。如果能緩緩下降為零,即可認為此氣路B級試漏合格。如轉子不能降到零,可用肥皂水在各接頭處仔細觀察。直到找到泄漏處為止。
C級試漏
對氣路中極i小漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口,觀察系統壓力表,不得在半小時之內有5kPa(相當于0.05kgf/cm2)以上的下降。此時系統壓力應在0.25MPa(相當于2.5kgf/cm2)以上。必要時可在系統出口處外接一個0.5級標準壓力表來讀取壓力變化數。
在證實氣路系統有泄漏時,可用分段堵住或關閉氣路的方法來縮小漏氣發生的范圍。絕大多數的漏氣點都發生于氣路接頭處,而氣路閥件內部的泄漏也時有發生,至于管路中間的泄漏,除了急轉彎處以外是很少見的。
實驗室氣體管道供氣系統
實驗室氣路安裝指實驗室氣體工程,即從氣瓶至儀器終端之間連接管線,JHP一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節閥等部分組成。目前主流氣路編排主要為實驗室集中供氣系統。
公司提供全i方位的實驗室氣體管道供氣系統,滿足不同實驗的用氣要求與安全。采用匯流排供氣設備,氣體管道系統,進行雙瓶帶手動、半自動、全自動切換功能,帶有低壓報警裝置,實時監控氣體壓力,濃度偵測報警和排風,保證客戶正常用氣需求和生命財產安全。
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