光刻靶標(也稱為標定板、校準板或參考標記)在微納制造、半導體工藝、光學測量以及機器視覺等領域中扮演著關鍵角色。以下是光刻靶標的定義與功能的詳細闡述:定義光刻靶標是一種具有圖案或結構的平板或標記,通常用于在光刻工藝、測量設備或機器視覺系統中進行校準、標定或定位。這些圖案或結構可以是幾何形狀(如圓點、線條、網格、棋盤格等)、條形碼、二維碼或其他特定的設計,崇明光掩膜版,以便機器或軟件能夠準確識別并據此進行的計算或調整。功能校準:光刻靶標的主要功能之一是校準測量設備或機器視覺系統的精度。通過比較靶標上的已知圖案與設備到的圖像之間的差異,可以調整設備的參數,光掩膜版生產商,如焦距、放大率、鏡頭畸變等,以確保測量或成像的準確性。
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