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目前，國內共有特種氣體生產企業達150余家，多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔， 避免陽光直射， 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣，鄭州特種氣體， 顯示適當的危險標記(例如、、有毒等) 。
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，特種氣體廠家，一般應配置減壓裝置、真空發生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。目前，國內共有特種氣體生產企業達150余家，多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，特種氣體公司，占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，特種氣體價格，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。
特種氣體的儲存注意事項：根據儲存的氣體類型設置標牌，如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內”等等。并配置消防器材、噴淋系統、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。滅菌特種氣體可殺滅細菌（及其內孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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第8年
